X方向、Y方向に動かせるハンドルがついたステージ付テーブル(サンプル台)のこと。使用すると位置合わせがしやすくなるというメリットがあります。
XYステージを動かす方法としてはいくつかのパターンがあります。
1.直動ギア(ハンドルを使ってXYステージを動かすタイプ)
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2.マイクロメーターを使ったタイプ
精密な移動ができます。移動量を計測できるのがメリットになります。
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3.ハンドルのないタイプ
ハンドルが飛び出していないため、対象物として大きなものを置くことが可能です。
スライドテーブルと呼ぶこともあります。
スライドテーブル(特注品) |
※スライドテーブルの動き
4.コントローラーで制御するタイプ
XYステージに接続したコントローラーでステージを移動させることができます。
事前にティーチングしておくことで、自動でステージを移動させることもできます。
ティーチングXYテーブル KB-2525 |
更に移動ポイントを記憶して連続的に自動でXYステージを移動させることや、外部機器との連動で外部信号をトリガーに次のポイントに移動するというような使用方法も可能です。