マイクロスコープで高さ、厚みを測る方法
| もっとも簡単な方法はマイクロスコープとデジタルインジケータと組み合わせる方法です。 レンズはできるだけ被写界深度の浅いものを選びます。 上下させる機構は微動調整機能の付いている方が精度高く測定できます。 |
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１.厚み測定 |
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| 透明または半透明の膜、シートが基材に密着している対象物が測定できる条件となります。
右の対象物は透明の保護シートが商品に密着しています。 シートが薄いので600倍で観察しました。 |
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| 基材（樹脂）に焦点を合わせて インジケータの値をゼロにします。 |
シートの上面に焦点を合わせて インジケータの値を読みます。 これが厚みになります。（107μｍ） |
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２.高さ測定 |
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| １画面で段差部が映し出せる対象物が測定できる条件となります。
左写真のICの高さを測定します。 十分な高さがあるので200倍で観察しました。 |
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| 基板に焦点を合わせて インジケータの値をゼロにします。 |
ICの上面に焦点を合わせて インジケータの値を読みます。 これが高さになります。（2.39mm） |
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| 弊社ではデジタルインジケータ付スタンド（ハイトゲージ）を2種類ご用意しております。 | |
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| インジケータ付粗微動スタンド GRS-1C125XB |
インジケータ付小型粗微動スタンド GR-S6C125XB |
