2025年01月08日

コンパクトスピンコーター　SDSEZ4-S

真空ポンプ・試料台付き で低価格を兼ねそろえた
コンパクトスピンコーター

 

 

 

 

その他写真　（クリックすると大きい画像が開きます）

 

主な特長

●低騒音設計のオイルレス真空ポンプ付きコンパクト真空スピンコーター

●簡単かつ迅速にコーティングできる真空チャックを備えています。

●回転速度は、100-10000rpmで、２パターンまでプログラム可能です。

●最大 4 インチ ウェーハー コーティング

●材質: 陽極酸化アルミニウム 試料台

●3個のアルミニウム真空チャック付き: 0D8mm、15mm、55mm

●真空グローブボックス内に入れることもできます。

 

 

 

チャンバーサイズ	134mm
最大ウェハーサイズ	4インチ（100mm）
真空チャックサイズ	外径φ8mm、φ15mm、φ55mm
回転速度	100～9999RPM
回転制御	5点までのプログラム制御、 5つのステップごとに呼出し可能
回転分解能	1 rpm
モーターパワー	75w
電源	AC110～230V
サイズ	250×210×200mm